As semicondutorese a medida que as tecnoloxías microelectrónicas se desenvolven cara a un maior rendemento e unha maior integración, impónse uns requisitos máis elevados á pureza dos gases especiais electrónicos. A tecnoloxía de tubaxes de gas de alta pureza é unha parte importante do sistema de subministración de gas de alta pureza. É a tecnoloxía clave para subministrar gases de alta pureza que cumpran os requisitos aos puntos de uso do gas, mantendo ao mesmo tempo unha calidade cualificada.
A tecnoloxía de tubaxes de alta pureza inclúe o deseño correcto do sistema, a selección de accesorios para tubaxes e materiais auxiliares, a construción, a instalación e as probas.
01 Concepto xeral de tubaxes de transmisión de gas
Todos os gases de alta pureza e limpeza deben transportarse ao punto terminal de gas a través de tubaxes. Para cumprir os requisitos de calidade do proceso para o gas, cando o índice de exportación de gas é certo, é máis necesario prestar atención á selección do material e á calidade de construción do sistema de tubaxes. Ademais da precisión do equipo de produción ou purificación de gas, esta vese afectada en gran medida por moitos factores do sistema de tubaxes. Polo tanto, a selección das tubaxes debe cumprir os principios pertinentes da industria de purificación e marcar o material das tubaxes nos debuxos.
02A importancia dos gasodutos de alta pureza no transporte de gas
A importancia das tubaxes de alta pureza no transporte de gas de alta pureza Durante o proceso de fusión do aceiro inoxidable, cada tonelada pode absorber uns 200 g de gas. Despois de procesar o aceiro inoxidable, non só se adhiren varios contaminantes á súa superficie, senón que tamén se absorbe unha certa cantidade de gas na súa rede metálica. Cando hai fluxo de aire que pasa pola tubaxe, a parte do gas absorbida polo metal volverá entrar no fluxo de aire e contaminará o gas puro.
Cando o fluxo de aire na tubaxe é descontinuo, esta forma unha adsorción de presión sobre o gas que pasa a través dela. Cando o fluxo de aire deixa de pasar, o gas adsorbido pola tubaxe forma unha análise de redución de presión e o gas analizado tamén entra no gas puro da tubaxe como unha impureza.
Ao mesmo tempo, o ciclo de adsorción e análise fará que o metal da superficie interior do tubo produza unha certa cantidade de po. Esta partícula de po metálico tamén contamina o gas puro do tubo. Esta característica do tubo é moi importante. Para garantir a pureza do gas transportado, non só se require que a superficie interior do tubo teña unha suavidade extremadamente alta, senón tamén que teña unha alta resistencia ao desgaste.
Cando o gas ten fortes propiedades corrosivas, débense usar tubos de aceiro inoxidable resistentes á corrosión. En caso contrario, aparecerán manchas de corrosión na superficie interior do tubo debido á corrosión. En casos graves, grandes pezas de metal desprenderanse ou mesmo perforaranse, contaminando así o gas puro que se transporta.
03Material da tubaxe
A selección do material da tubaxe debe realizarse segundo as necesidades de uso. A calidade da tubaxe mídese xeralmente segundo a rugosidade da súa superficie interior. Canto menor sexa a rugosidade, menos probable é que transporte partículas. Xeralmente divídese en tres tipos:
Un éTubo 316L de grao EP, que foi pulido electroliticamente (electropulido). É resistente á corrosión e ten unha baixa rugosidade superficial. Rmax (altura máxima de pico a val) é de aproximadamente 0,3 μm ou menos. Ten a maior planitude e non é doado formar correntes microparasitarias. Eliminar as partículas contaminadas. O gas de reacción utilizado no proceso debe canalizarse a este nivel.
Un é unGrao BA 316Ltubaxe, que foi tratada por Bright Anneal e que se usa a miúdo para gases que están en contacto coa lasca pero que non participan na reacción do proceso, como GN2 e CDA. Unha é a tubaxe AP (recocido e desbaste), que non recibe un tratamento especial e que se usa xeralmente para conxuntos dobres de tubaxes exteriores que non se usan como liñas de subministración de gas.
04 Construción de oleodutos
O procesamento da boca da tubaxe é un dos puntos clave desta tecnoloxía de construción. O corte e a prefabricación da tubaxe realízanse nun ambiente limpo e, ao mesmo tempo, garántese que non haxa marcas nocivas nin danos na superficie da tubaxe antes do corte. Os preparativos para a limpeza con nitróxeno na tubaxe deben facerse antes de abrila. En principio, a soldadura úsase para conectar as tubaxes de transmisión e distribución de gas de alta pureza e limpeza con gran caudal, pero non se permite a soldadura directa. Débense usar unións de revestimento e o material da tubaxe utilizado non debe ter ningún cambio na estrutura durante a soldadura. Se se solda o material cun contido de carbono demasiado alto, a permeabilidade ao aire da peza soldada fará que o gas do interior e do exterior da tubaxe penetre entre si, destruíndo a pureza, a sequedade e a limpeza do gas de transporte, o que levará a consecuencias graves e afectará a calidade da produción.
En resumo, para gasodutos de transmisión de gas de alta pureza e gasodutos especiais, débese usar un tubo de aceiro inoxidable de alta pureza tratado especialmente, o que fai que o sistema de tubaxes de alta pureza (incluíndo tubaxes, accesorios para tubaxes, válvulas, VMB, VMP) ocupe unha misión vital na distribución de gas de alta pureza.
Data de publicación: 26 de novembro de 2024