As semicondutore as tecnoloxías microelectrónicas desenvólvense cara a un maior rendemento e unha maior integración, imponse requisitos máis altos sobre a pureza dos gases especiais electrónicos. A tecnoloxía de tubaxes de gas de alta pureza é unha parte importante do sistema de subministración de gas de alta pureza. É a tecnoloxía clave para entregar gases de alta pureza que cumpran os requisitos para os puntos de uso do gas mantendo unha calidade cualificada.
A tecnoloxía de tubaxes de alta pureza inclúe o deseño correcto do sistema, a selección de accesorios para tubos e materiais auxiliares, construción e instalación e probas.
01Concepto xeral de canalización de transporte de gas
Todos os gases de alta pureza e alta limpeza deben ser transportados ata o punto terminal de gas a través de canalizacións. Para cumprir os requisitos de calidade do proceso para o gas, cando o índice de exportación de gas é certo, é máis necesario prestar atención á selección do material e á calidade da construción do sistema de tubaxes. Ademais da precisión do equipamento de produción ou purificación de gas, está moi afectado por moitos factores do sistema de canalizacións. Polo tanto, a selección de tubos debe cumprir os principios relevantes da industria de purificación e marcar o material dos tubos nos debuxos.
02A importancia dos gasodutos de alta pureza no transporte de gas
A importancia das conducións de alta pureza no transporte de gas de alta pureza Durante o proceso de fundición de aceiro inoxidable, cada tonelada pode absorber uns 200 g de gas. Despois de procesar o aceiro inoxidable, non só se pegan varios contaminantes na súa superficie, senón que tamén se absorbe unha certa cantidade de gas na súa rede metálica. Cando hai fluxo de aire que pasa pola canalización, a parte do gas absorbido polo metal volverá entrar no fluxo de aire e contaminará o gas puro.
Cando o fluxo de aire no tubo é descontinuo, o tubo forma adsorción de presión sobre o gas que pasa. Cando o fluxo de aire deixa de pasar, o gas adsorbido polo tubo forma unha análise de redución de presión e o gas analizado tamén entra no gas puro no tubo como impureza.
Ao mesmo tempo, o ciclo de adsorción e análise fará que o metal na superficie interna do tubo produza unha certa cantidade de po. Esta partícula de po metálico tamén contamina o gas puro da tubaxe. Esta característica do tubo é moi importante. Para garantir a pureza do gas transportado, non só é necesario que a superficie interna do tubo teña unha suavidade extremadamente alta, senón tamén que teña unha alta resistencia ao desgaste.
Cando o gas ten fortes propiedades corrosivas, débense utilizar tubos de aceiro inoxidable resistentes á corrosión. En caso contrario, aparecerán manchas de corrosión na superficie interna do tubo debido á corrosión. En casos graves, grandes pezas de metal despegaranse ou mesmo perforaranse, contaminando así o gas puro que se transporta.
03 Material do tubo
A selección do material do tubo debe seleccionarse segundo as necesidades de uso. A calidade do tubo mídese xeralmente segundo a rugosidade da superficie interna do tubo. Canto menor sexa a rugosidade, menos probable é que leve partículas. Xeralmente divídese en tres tipos:
Un éTubo grado EP 316L, que foi pulido electroliticamente (Electro-Polish). É resistente á corrosión e ten baixa rugosidade superficial. Rmax (altura máxima do pico ao val) é de aproximadamente 0,3 μm ou menos. Ten a maior planitude e non é fácil formar microcorrentes de Foucault. Eliminar partículas contaminadas. O gas de reacción utilizado no proceso debe ser canalizado a este nivel.
Un é unGrao BA 316Ltubo, que foi tratado por Bright Anneal e que se usa a miúdo para gases que están en contacto co chip pero que non participan na reacción do proceso, como GN2 e CDA. Un deles é o tubo AP (Annealing & Picking), que non está especialmente tratado e que se usa xeralmente para conxuntos dobres de tubos exteriores que non se utilizan como liñas de subministración de gas.
04 Construción de canalizacións
O procesamento da boca do tubo é un dos puntos clave desta tecnoloxía de construción. O corte e a prefabricación da tubaxe realízanse nun ambiente limpo e, ao mesmo tempo, garante que non haxa marcas prexudiciais ou danos na superficie da tubaxe antes de cortar. Os preparativos para o lavado de nitróxeno na canalización deben facerse antes de abrir a canalización. En principio, a soldadura utilízase para conectar as conducións de transmisión e distribución de gas de alta pureza e alta limpeza con gran caudal, pero non se permite a soldadura directa. Deben utilizarse xuntas de carcasa e o material do tubo empregado debe non ter ningún cambio na estrutura durante a soldadura. Se se solda o material cun contido demasiado alto de carbono, a permeabilidade ao aire da parte de soldeo fará que o gas dentro e fóra da tubaxe penetre entre si, destruíndo a pureza, a sequedade e a limpeza do gas de transporte, o que levará a graves consecuencias. e afectan á calidade da produción.
En resumo, para gasodutos de alta pureza e gasodutos especiais de transmisión, debe utilizarse un tubo de aceiro inoxidable de alta pureza especialmente tratado, o que fai que o sistema de conducións de alta pureza (incluíndo canalizacións, accesorios para tubos, válvulas, VMB, VMP) ocupe un misión vital na distribución de gas de alta pureza.
Hora de publicación: 26-nov-2024