1. Definición do sistema de gas a granel:
Almacenamento e control da presión de gases inertes Tipos de gas: Gases inertes típicos (nitróxeno, argon, aire comprimido, etc.)
Tamaño da tubaxe: Desde 1/4 (tubaxe de monitorización) ata tubaxe principal de 12 polgadas
Os principais produtos do sistema son: válvula de diafragma/válvula de fuelle/válvula de bola, conector de alta pureza (VCR, forma de soldadura), conector de ferrule, válvula reguladora de presión, manómetro, etc.
Actualmente, o novo sistema tamén inclúe un sistema de gas especial a granel, que emprega cilindros de gas fixos ou camións cisterna para o seu almacenamento e transporte.
2. Definición do sistema de purificación:
Eliminación de impurezas de gases a granel para gasodutos de alta pureza
3. Definición de armarios de gas:
Ofrecen control de presión e monitorización de fluxo para fontes de gas especiais (gases tóxicos, inflamables, reactivos e corrosivos) e teñen a capacidade de substituír cilindros de gas.
Localización: Situado na planta da subfactoría ou na planta inferior para almacenamento de gases especiais. Fonte: NF3, SF6, WF6, etc.
Tamaño da tubaxe: Tubo de gas interno, xeralmente de 1/4 de polgada para tubaxes de proceso, de 1/4 a 3/8 de polgada principalmente para tubaxes de purga de nitróxeno de alta pureza.
Produtos principais: válvulas de diafragma de alta pureza, válvulas de retención, manómetros, conectores de alta pureza (VCR, formulario de soldadura). Estes armarios de gas basicamente conteñen capacidades de conmutación automática para cilindros para garantir o subministro continuo de gas e a substitución segura dos cilindros.
4. Definición de distribución:
Conexión da fonte de gas á bobina de recollida de gas
Tamaño da liña: Na fábrica de chips, o tamaño da tubaxe de distribución de gas a granel xeralmente varía de 1/2 polgada a 2 polgadas.
Forma de conexión: os gasodutos especiais conéctanse xeralmente mediante soldadura, sen ningunha conexión mecánica nin outras pezas móbiles, principalmente porque a conexión de soldadura ten unha forte fiabilidade de selado.
Nunha fábrica de astillas, hai centos de quilómetros de tubaxes conectadas para transmitir gas, que basicamente miden uns 6 metros de longo e están soldadas entre si. Tamén son moi comúns algunhas curvas de tubaxes e conexións tubulares de soldadura.
5. Caixa de válvulas multifunción (caixa de colector de válvulas, VMB) Definición:
Trátase de distribuir gases especiais desde a fonte de gas a diferentes extremos do equipo.
Tamaño interno da tubaxe: tubaxe de proceso de 1/4 de polgada e tubaxe de purga de 1/4 a 3/8 de polgada. O sistema pode usar control informático para requirir válvulas accionadas ou situacións de menor custo con válvulas manuais.
Produtos do sistema: válvulas de diafragma/válvulas de fuelle de alta pureza, válvulas de retención, xuntas de alta pureza (VCR, forma de microsoldadura), válvulas reguladoras de presión, manómetros e manómetros, etc. Para a distribución dalgúns gases inertes, utilízase principalmente o panel de colector de válvulas - VMP (disco de válvula multifunción), que ten unha superficie de disco de gas aberta e non require un deseño de espazo pechado nin purga adicional de nitróxeno.
6. Definición da placa/caixa da válvula secundaria (panel de conexión de ferramentas):
Conecte o gas que require o equipo semicondutor desde a fonte de gas ata o extremo do equipo e realice a regulación de presión correspondente. Este panel é un sistema de control de gas que está máis preto do extremo do equipo que a VMB (caixa de válvulas multifunción).
Tamaño da tubaxe de gas: 1/4 - 3/8 polgadas
Tamaño da tubaxe de líquido: 1/2 - 1 polgada
Tamaño da tubaxe de descarga: 1/2 - 1 polgada
Principais produtos: válvula de diafragma/válvula de fuelle, válvula unidireccional, válvula reguladora de presión, manómetro, manómetro, xunta de alta pureza (VCR, microsoldadura), xunta de ferrule, válvula de bola, mangueira, etc.
Data de publicación: 22 de novembro de 2024