1. Definición do sistema de gas a granel:
Almacenamento e control de presión de gases inertes Tipos de gases: Gases inertes típicos (nitróxeno, argón, aire comprimido, etc.)
Tamaño da canalización: de 1/4 (canalización de vixilancia) ata o gasoduto principal de 12 polgadas
Os principais produtos do sistema son: válvula de diafragma/válvula de fuelle/válvula de bola, conector de alta pureza (VCR, forma de soldadura), conector de virola, válvula reguladora de presión, manómetro, etc.
Actualmente, o novo sistema tamén inclúe un sistema de gas especial a granel, que utiliza cilindros de gas fixos ou camións cisterna para o almacenamento e o transporte.
2. Definición do sistema de purificación:
Eliminación de impurezas dos gases a granel para gasodutos de alta pureza
3. Gabinetes de gas Definición:
Proporcionar control de presión e monitorización do fluxo para fontes de gas especiais (gases tóxicos, inflamables, reactivos e corrosivos) e ter a capacidade de substituír as bombonas de gas.
Localización: Situado na planta Subfab ou na planta inferior para almacenamento de gases especiais Fonte: NF3, SF6, WF6, etc.
Tamaño do gasoduto: gasoduto interno, xeralmente 1/4 de polgada para o gasoduto de proceso, 1/4-3/8 de polgada principalmente para o gasoduto de purga de nitróxeno de alta pureza.
Principais produtos: válvulas de diafragma de alta pureza, válvulas de retención, manómetros, manómetros, conectores de alta pureza (VCR, formulario de soldadura) Estes armarios de gas conteñen basicamente capacidades de conmutación automática para cilindros para garantir o subministro continuo de gas e a substitución segura de cilindros.
4. Definición da distribución:
Conexión da fonte de gas ao serpentín de recollida de gas
Tamaño da liña: na fábrica de chips, o tamaño do gasoduto de distribución de gas a granel varía xeralmente de 1/2 polgada a 2 polgadas.
Forma de conexión: os gasodutos especiais están xeralmente conectados mediante soldadura, sen ningunha conexión mecánica ou outras pezas móbiles, principalmente porque a conexión de soldadura ten unha forte fiabilidade de selado.
Nunha fábrica de chips, hai centos de quilómetros de tubos conectados para transmitir gas, que son basicamente uns 20 pés de longo e están soldados entre si. Tamén son moi comúns algunhas curvas de tubos e conexións de soldadura tubulares.
5. Caixa de válvulas multifunción (Valve Manifold Box, VMB) Definición:
Trátase de distribuír gases especiais desde a fonte de gas a diferentes extremos dos equipos.
Tamaño interno da canalización: canalización de proceso de 1/4 de polgada e canalización de purga de 1/4 - 3/8 polgada. O sistema pode usar o control por ordenador para requirir válvulas accionadas ou situacións de menor custo con válvulas manuais.
Produtos do sistema: válvulas de diafragma/válvulas de fuelle de alta pureza, válvulas de retención, xuntas de alta pureza (VCR, forma de microsoldadura), válvulas reguladoras de presión, manómetros e manómetros, etc. Para a distribución dalgúns gases inertes, o Panel do colector de válvulas - Úsase principalmente VMP (disco de válvulas multifunción), que ten unha superficie de disco de gas aberta e non require un deseño de espazo pechado e purga adicional de nitróxeno.
6. Placa/caixa de válvulas secundarias (Panel de conexión de ferramentas) Definición:
Conecte o gas requirido polo equipo semicondutor desde a fonte de gas ata o extremo do equipo e proporcione a correspondente regulación de presión. Este panel é un sistema de control de gas máis próximo ao extremo do equipo que a VMB (caixa de válvulas multifunción).
Tamaño do gasoduto: 1/4 - 3/8 de polgada
Tamaño da tubería de líquido: 1/2 - 1 polgada
Tamaño da canalización de descarga: 1/2 - 1 polgada
Principais produtos: válvula de diafragma/válvula de fuelle, válvula unidireccional, válvula reguladora de presión, manómetro, manómetro, xunta de alta pureza (VCR, microsoldadura), xunta de virola, válvula de bola, mangueira, etc.
Hora de publicación: 22-novembro-2024